真空丈量是真空技術(shù)中的一個(gè)重要組成部分。用于丈量真空度的儀器稱為真空計(jì)。
真空爐及真空熔煉爐常用的真空計(jì)有：熱偶真空計(jì)電離真空計(jì)等。它們的作業(yè)原理如下：
（一）熱偶真空計(jì)
熱偶真空計(jì)由敏感元件、熱偶規(guī)管和丈量?jī)x器組成。熱偶規(guī)管與被測(cè)真空體系相通，外殼為玻璃管，管內(nèi)有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不一起，因?yàn)闇夭钚?yīng)，在回路中有熱電勢(shì)發(fā)生。如加熱絲電壓堅(jiān)持穩(wěn)定，則熱偶絲的電勢(shì)限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測(cè)氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。壓強(qiáng)低，氣體熱導(dǎo)率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢(shì)增大；反之，則熱電勢(shì)減少。回路中的熱電勢(shì)用毫伏表丈量，表中的毫伏數(shù)即反映出真空度的凹凸。為了確保加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以丈量?jī)x器是由丈量熱電勢(shì)的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。

（二）電離真空計(jì)
這種真空計(jì)主要用于丈量高真空度。在低壓強(qiáng)氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比按照離發(fā)生的辦法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計(jì)叫熱陰極電離真空計(jì)；其間，熱陰極電離真空計(jì)由熱陰極規(guī)管和丈量?jī)x器組成。丈量?jī)x器由規(guī)管作業(yè)電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流丈量擴(kuò)大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測(cè)真空體系相通。熱陰極電離規(guī)管是一個(gè)三極管，管內(nèi)有陰極、柵及和搜集極。搜集極電位相對(duì)于陰極電負(fù)電位；柵極相對(duì)于陰極電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達(dá)柵極的過(guò)程中，與氣體分子碰撞而發(fā)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一守時(shí)，正離子數(shù)日與被測(cè)氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被搜集極搜集后，經(jīng)丈量電路擴(kuò)大，可由批示電表讀出所要丈量的真空度（箱式爐）。
（三）復(fù)合真空計(jì)
通常，對(duì)低真空和高真空的丈量不能用一種真空計(jì)來(lái)完成，而應(yīng)選用復(fù)合真空計(jì)，使用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)。它的丈量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計(jì)丈量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計(jì)丈量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計(jì)附有一個(gè)熱偶規(guī)管、一個(gè)電離規(guī)管，別離接在真空體系上，經(jīng)過(guò)旋鈕可別離給兩個(gè)規(guī)管加熱，并挑選使用。

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